２．マイクロ流体制御素子の系統的研究
当該研究者は1985年より，マイクロバルブやマイクロポンプについて系統的研究を続けている。
その間世界に先駆けてマイクロバルブを用いた血液ガス分析マイクロシステムや
マイクロポンプを開発してきた。化学／生化学分析・合成システムを構成する上で，
現段階ではマイクロバルブが重要となっている。特に並列化されたシステムにおいては
マイクロバルブによりサンプル流を切り替える必要があり，
デットスペース低減のためシステムへのマイクロバルブの集積化が不可欠となる。
そこで，我々はポジ形フォトレジストを犠牲層として用いることにより，
100℃以下の低温のプロセスでシリコンとシリコーン薄膜
あるいはテフロン薄膜の間に微小流路や圧力室を形成する方法でニューマチック型の
実用的なディスポーザブル型の試料導入用マイクロバルブを実現した。
試料を複数の分析セルに導入することを目的として，図2-1に示すスイッチング型とフロー型の１入力４出力バルブを開発した。
図2-1 部分デイスポーザブル１入力−４出力マイクロバルブの構造
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2001/06/07 webmasters@coe.waseda.ac.jp